干式無油螺桿真空泵致動的泵腔無油無水，不會污染真空室或萃取介質。此外，支持設施很少，可以直接排放到大氣中。短期購買投資成本要高于傳統真空泵，但無油干式真空泵的后續使用和維護成本要低得多，而且時間越長，后期的成本差異就越明顯。----真空泵廠家
干式無油螺桿真空泵是一種干燥的非接觸式恒螺距螺桿真空泵。兩個螺釘準確地動態平衡并由軸承支撐。該設備在泵殼內。螺釘之間有的間隙。泵的運行穩定，沒有碰撞，并且工作室中沒有介質。因此，干式無油螺桿真空泵是一種節能的真空泵，可以排出含有大量可冷凝氣體和粉塵的氣體。它比油封機械真空泵，液封真空泵，往復式真空泵和其他類型的真空泵更適合。
一， 干式螺桿真空泵選型
1、干式螺桿真空泵在其工作壓力下，應能排走真空泵設備工藝過程中產生的氣體量。
2、每種泵都有的工作壓力范圍，因而，泵的工作點應該選擇在這個范圍之內，而不能讓它在允許工作壓力以外長時間工作。
3、油式真空泵的限壓力應該滿足該工藝的工作壓力。通常選擇泵的限壓力低于工藝要求約一個數量級。
干式真空泵是未來行業發展的趨勢，今天，我們已進入干式真空泵時代，同過去旋片和活塞油式真空泵時代相比，一個受過良好培訓的消費者在真空泵的選擇上起著舉足輕重的作用。要知道，有如此多類型的干式泵可供選擇，而選一個能和您的半導體工藝相匹配的類型是關鍵所在。
